입력 : 2022-11-15 18:07:18
- 반도체 장비 글로벌 기업들의 국내 R&D 투자 확대
반도체 초미세 공정의 핵심 역할을 담당하는 극자외선 노광장비(EUV)를 생산하는 네덜란드 반도체 장비 기업 ASML이 경기도 화성에 반도체 클러스터 '뉴 캠퍼스'를 구축한다. 2025년까지 총 2400억원을 투자해 거점을 마련하고 국내 반도체 기업과 협업을 강화한다.
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< 반도체 장비 기업 시장 점유율 /=산업통상자원부 제공. >
산업통상자원부는 오는 16일 경기도 화성에서 ASML 화성 New Campus 기공식이 개최된다고 15일 밝혔다.
이번 기공식엔 피터 베닝크 ASML CEO를 비롯해 문동식 산업부 무역투자실장, 김동연 경기도지사, 정명근 화성시장, 이원욱 국회의원, 수요기업 등 관계자 160여명이 참석한다.
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ASML 피터 베닝크 CEO =ASML 제공
ASML은 반도체 초미세공정이 필수인 EUV(극자외선) 노광장비를 사실상 독점 생산해 공급하고 있다.
노광 공정이란 미세하고 복잡한 전자회로를 반도체 웨이퍼에 그려 넣는 기술로, EUV 노광장비를 활용하면 짧은 파장으로 세밀하게 회로를 그릴 수 있다.
ASML은 경기도 화성시에 2025년까지 2400억원을 투입해 1만6000제곱미터(㎡) 규모로 캠퍼스를 조성한다. 이번 투자는 ASML이 해외 지사에 하는 첫 직접 투자로, 역대 최대 규모의 투자다. 캠퍼스 내엔 재제조센터가 들어선다.
센터는 ASML이 공급하는 극자외선(EUV)·심자외선(DUV) 장비 유지보수와 핵심 부품 국산화 작업 등을 진행한다. 최신 EUV 노광장비는 대당 수천억원이 넘는다. 국내에서 유지보수와 핵심부품 국산화가 가능할 경우 장비에 문제가 발생해도 수리비용과 시간을 절감할 수 있다.
아울러 ASML 화성 캠퍼스엔 첨단기술을 전수하기 위한 트레이닝 센터, 체험관 등도 건립된다.
ASML의 뉴 캠퍼스 건립은 2020년부터 산업통상자원부와 경기도, 화성시가 합심해 투자 유치에 적극적으로 나선 결과다.
산업부는 최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 발표 등 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제를 완화하고 추가적인 투자유치 협의를 계속해오고 있다.
산업부는 ASML 화성 캠퍼스 조성으로 글로벌 기업인 ASML과 국내 반도체 기업의 협력이 더욱 긴밀해지고 첨단장비 관련 소재·부품 공급망이 한층 강화될 것으로 평가했다.
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