입력 : 2017-01-15 10:18:20
테스는 플라즈마 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “각 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지 및 조절이 가능하고 또한 기판의 일부 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지하는 경우에는 각 영역 내에서 플라즈마의 밀도를 균일하게 유지할 수 있다”고 밝혔다.
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입력 : 2017-01-15 10:18:20
테스는 플라즈마 처리장치에 관한 특허권을 취득했다고 12일 공시했다.
회사측은 “반도체 장비에 적용되는 기술”이라며 “각 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지 및 조절이 가능하고 또한 기판의 일부 영역에서 플라즈마의 밀도를 다르게 유지하는 경우에는 각 영역 내에서 플라즈마의 밀도를 균일하게 유지할 수 있다”고 밝혔다.
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